REM & EDX

Wie die Methode funktioniert

Bei der Rasterelektronenmikroskopie wird die Probe mit einem sehr fein gebündelten Elektronenstrahl abgerastert. Wird die Probenoberfläche mit dem Elektronenstrahl abgetastet, kommt es zu einer Wechselwirkung mit der Probe und es werden unterschiedlich energiereiche Elektronen freigesetzt. Diese werden mit den verschiedenen Detektoren (SE2 / Inlens / BSD / EDX) aufgenommen und geben so Rückschlüsse über die Topographie, bzw. Materialzusammensetzung der Probe.

Die wichtigsten Vorteile gegenüber der Lichtmikroskopie sind sicherlich:

• das erhöhte Auflösungsvermögen
• die hohe Schärfentiefe

• der relativ geringe präparative Aufwand
• die leichte Interpretation der erzeugten Bilder infolge des dreidimensionalen Eindrucks
• die Nutzung verschiedener Kontrastmechanismen für die Bilderzeugung
• die relativ einfache Adaption und Ansteuerung von zusätzlichen Messgeräten für die Mikrobereichsanalyse

Das Gerät

Unser Labor am Fachbereich Geowissenschaften der Universität Bremen ist mit dem Feldemissionselektronenmikroskop SUPRA 40 von der Firma Zeiss und dem EDX-Detektor XFlash 6|30 von der Firma Bruker ausgestattet.

Das SUPRA 40 ist mit einer neuartigen Elektronenoptik ausgerüstet, die so konfiguriert wurde, dass sie speziell für Niederspannungsanwendungen sehr gute Ergebnisse erzielt. Weiterhin besteht durch den ebenfalls verbauten Inlens-Detektor mit seiner hohen Detektionseffizienz die Möglichkeit, Nanopartikel bis zu einer Größe von 15 nm gut darzustellen.

Bei dem EDX-Detektor XFlash 6|30 handelt es sich um einen Siliziumdriftdetektor (SDD) mit einer aktiven Detektorfläche von 30 mm² und einer Energieauflösung <129 eV bei Mn-Kα. Neben Punkt- und Flächenanalysen sind sowohl Linienanalysen (Linescan), als auch Elementverteilungskarten (Mapping) durch die hohen Impulsraten innerhalb kurzer Messzeit möglich.

Probentypen

• max. Probendicke: 30 mm
• max. Probendurchmesser: 50 mm
• generell ist es besser, die Proben möglichst klein und flach zu präparieren
• ebenso sind auch Streupräparate möglich
• nichtleitende Proben werden entweder in dem Cressington Sputter Coater, oder Carbon Coater leitfähig bedampft

Weiterhin müssen die Proben folgende Eigenschaften aufweisen:

• hochvakuumfest
• trocken
• keine Ausgasungen