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Photonic Professional 3D Laser Lithography System

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Allgemeine Informationen

  • Untersuchungsgebiete
  • Techniken
    3D Laser Lithography
  • Hersteller
    Nanoscribe
  • Herstellungsjahr
    2010
  • Hauptanwendung
    Fabrication of 3D polymer-based structures like waveguides, DOE's, or photonic crystals.

Spezifikationen des Geräts

  • Technische Aspkete

    Lateral feature size: < 200 nm (lateral linewidth in IP-L 780)

    Lateral resolution: < 500 nm

    Axial resolution: 800 nm

    Piezo range: 300 µm x 300 µm x 300 µm

    Laser center wavelength: 780 nm

  • Weitere Untersuchungsmöglichkeiten
    3D laser lithography, direct laser writing, two-photon polymerization, polymers, DOE, material manipulation, structure fabrication, surface modification, 3D design

Kontaktperson

  • Anwendungswissenschaftler
    Claas Falldorf
    , BIAS
    OMOS: Coherent Optics and Nanophotonics FZB / HB 2540
    Telefonnummer 421 218 58013
    falldorfprotect me ?!biasprotect me ?!.de
  • Führender Anwendungswissenschaftler
    Bergmann, Ralf

Gerätestandort

  • Gruppe
    OMOS: Coherent Optics and Nanophotonics
  • Gebäude
    LION
  • Raum
    0.230
  • Institut (Außeruniversitär)
    BIAS
Aktualisiert von: MAPEX