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Photonic Professional 3D Laser Lithography System

Allgemeine Informationen
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Untersuchungsgebiete
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Techniken3D Laser Lithography
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HerstellerNanoscribe
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Herstellungsjahr2010
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HauptanwendungFabrication of 3D polymer-based structures like waveguides, DOE's, or photonic crystals.
Spezifikationen des Geräts
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Technische Aspkete
Lateral feature size: < 200 nm (lateral linewidth in IP-L 780)
Lateral resolution: < 500 nm
Axial resolution: 800 nm
Piezo range: 300 µm x 300 µm x 300 µm
Laser center wavelength: 780 nm
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Weitere Untersuchungsmöglichkeiten3D laser lithography, direct laser writing, two-photon polymerization, polymers, DOE, material manipulation, structure fabrication, surface modification, 3D design
Kontaktperson
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AnwendungswissenschaftlerClaas Falldorf
, BIAS
OMOS: Coherent Optics and Nanophotonics FZB / HB 2540
Telefonnummer 421 218 58013
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Führender AnwendungswissenschaftlerBergmann, Ralf
Gerätestandort
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GruppeOMOS: Coherent Optics and Nanophotonics
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GebäudeLION
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Raum0.230
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Institut (Außeruniversitär)BIAS