Thermischer Strömungssensor auf flexiblem Substrat
thermische Ansprechzeit des Sensors von nur 2,6 ms, aufgrund der minimalen thermischen Kapazität und dem hohen Grad der Miniaturisierung. Die beiden Thermometer messen die Wärmeverteilung im Fluid. Die [...] Thermoelement liegt gleichauf mit gebräuchlichen Thermoelementen aus Polysilizium und Gold oder Aluminium. Die Membran wird mittels DRIE (Deep Reactive Ion Etching) freigelegt. Dies erlaubt senkrechte [...] flow sensors. Sensor Actuat A-Phys 130-131:262-266. Buchner R, Maiwald M, Sosna C et al (2006) Miniaturised thermal flow sensors for rough environments. 19th IEEE International Conference on Micro Electro